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实验室混气装置
实验室混气装置

实验室混气装置是硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷和氢、氮、氩、氦的混合气体;原料气体纯度采用99.999%-99.9999%的高纯气体,稀释气体采用纯度≥99.9999%气体。

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